型號: microvision 2 品牌: mks 工作原理:該系統由殘余氣體分析單元和真空單元組成。真空單元將待測的真空腔體抽真空,在真空環境下,殘余氣體分析單元的采集端收集腔室內的殘余氣體,殘余氣體各組分在離子源中發生電離,氣體的各個成分電離生成各種離子,然后檢測離子并確定質荷比,從而確定殘余氣體質量和種類。 主要功能:在高真空環境下進行殘余氣體分析,獲得殘余氣體的組分和含量,判斷真空腔室是否被污染。 科研用途:氣體微分析系統用于測量殘余氣體的組分和含量,判斷垂測系統真空室是否被污染, 請海關幫忙核定稅號
氣體微分析系統的hs編碼怎么歸類,回復如下
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